無(wú)塵車(chē)間標準等級的劃分!
先是無(wú)塵車(chē)間標準等級定義如下:Class X (at Y μm )
其中X是無(wú)塵車(chē)間的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無(wú)塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿(mǎn)足該等級的限度。
以下是幾個(gè)例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多幾個(gè)粒徑。
第二個(gè)是規定無(wú)塵車(chē)間的狀態(tài),例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
第三個(gè)是自訂微粒濃度上限,一般在A(yíng)s-built時(shí)無(wú)塵車(chē)間都很干凈,微??刂颇芰y試不易,這時(shí)可以干脆把驗收上限壓低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
這樣做的目的是確保無(wú)塵車(chē)間在Operational狀態(tài)時(shí),依然有足夠的微??刂颇芰?。
以下兩個(gè)表是Fed-Std-209E的等級定義,和ISO-14644的等級定義。
Fed-Std-209E潔凈度定義
ISO-14644潔凈度定義
比較以上兩表我們可看出:
1、209E的公制和英制兩套標準,雖然有公式做互換,但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表,徒然造成混淆;
2、在兩表中0.5mm幾乎出現在每一個(gè)等級定義中,表示粒徑0.5mm的粒子非常具有代表性;
3、在潔凈度的分類(lèi)上,不管是在高潔凈度,或是低潔凈度,ISO-14644的范圍比209E都來(lái)的廣,因此具有未來(lái)性。
無(wú)塵車(chē)間等級標準劃分
潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個(gè)唯一指標來(lái)劃分潔凈室(區)及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um~0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空氣潔凈度分級標準:ISO14644-1(國際標準)
空氣潔凈度分級標準:GB/T16292-1996(中國標準)
美國聯(lián)邦標準(USA Federal Standard)
空氣中微粒的潔凈等級對照空氣微粒潔凈等級 (每立方米,每立方英尺)微粒的最大濃度限值
中國藥品生產(chǎn)潔凈室(區)的空氣潔凈度標準
國家藥品監督管理局1999年8月1日發(fā)布實(shí)施
基于≥0.5um粒徑的各國潔凈度等級近似對照表
無(wú)塵室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級
國家標準GB50073-2001
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