各行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間要求都各不相同,電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)是車(chē)間大,布局多變。因為電子行業(yè)的技術(shù)更新快,如果工藝變了,那平面布局就要跟著(zhù)變,因此布局上不宜有很多固定的分隔。
1.平面布局是由工藝決定,電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
2.由于生產(chǎn)工藝種類(lèi)繁多,對潔凈度等級要求也不同;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫、濕度控制的要求相對較高,如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數為40%(精度±2~±5℃);正壓值要求的梯度級別,隨著(zhù)潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。
3.電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間的冷負荷比其他行業(yè)無(wú)塵車(chē)間大得多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見(jiàn),由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。
4.應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
5.電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過(guò)程中產(chǎn)生有毒有害氣體,種類(lèi)繁多且量大,所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也很大。新排風(fēng)的節能措施是行業(yè)特點(diǎn)之一,排放前要做處理,使排風(fēng)負荷環(huán)保要求。
6.電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料;要根據生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除;生產(chǎn)工藝也有抗微振的要求,在廠(chǎng)地環(huán)境上應避開(kāi)振動(dòng)源。
7.電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間允許設置風(fēng)淋室。風(fēng)淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人風(fēng)淋室一般按最大班人數為30人設計,當人數太多或為了縮短通過(guò)時(shí)間,也可設置雙人風(fēng)淋室或風(fēng)淋通道。同時(shí)也需要配置潔凈棚、FFU凈化單元、高效過(guò)濾器、高效送風(fēng)口、傳遞窗,如不配這些設備你的要求是不達標準的。
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