常見(jiàn)問(wèn)題
您當前位置:首頁(yè) >> 新聞資訊 >> 常見(jiàn)問(wèn)題 >> 無(wú)塵車(chē)間有哪些標準?
首先是等級定義的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是無(wú)塵室的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無(wú)塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿(mǎn)足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個(gè)例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多幾個(gè)粒徑。
第二個(gè)技巧是規定無(wú)塵室的狀態(tài),例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
供貨商就很清楚知道無(wú)塵室要在A(yíng)t-rest狀態(tài)下驗收。
第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限,一般在A(yíng)s-built時(shí)無(wú)塵室都很干凈,微??刂颇芰y試不易,這時(shí)可以干脆把驗收上限壓低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
這樣做的目的是確保無(wú)塵室在Operational狀態(tài)時(shí),依然有足夠的微??刂颇芰?。
1、 黃光車(chē)間多建在百級潔凈區,千級潔凈區也有涉及
2、半導體潔凈室(高架地板)常應用于百級和千級區域
3、 常規半導體潔凈室(潔凈區:萬(wàn)級至十萬(wàn)級)
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