電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間要求及設計規劃
電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間的建設是為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件,生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品的生產(chǎn)密切相關(guān),合適的生產(chǎn)環(huán)境,能提高產(chǎn)品的性能、成品率和可靠性,否則會(huì )對產(chǎn)品的生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。那么,電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間有什么要求?電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間如何設計規劃?下面本文就來(lái)介紹一下電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間要求及設計規劃。
電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間要求
由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)對環(huán)境的要求比較高,所以電子無(wú)塵車(chē)間的潔凈度要求也比較高,因為電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝種類(lèi)繁多,對潔凈度等級的要求也不一樣,通常而言,電子無(wú)塵車(chē)間的等級至少是10萬(wàn)級。電子無(wú)塵車(chē)間對空氣中的粒子數、粒徑有要求,控制范圍約為0.1~5um。
電子無(wú)塵車(chē)間為了保持電子產(chǎn)品生產(chǎn)車(chē)間的干燥,對溫濕度也有要求,電子產(chǎn)品不一樣,工藝也不一樣,有些工藝對溫濕度的控制要求比較高,比如集成電路前道工藝一般要求室內溫度基數22℃,精度±0.1~±1℃,精度相對濕度基數40%?!?~±5℃。根據生產(chǎn)的產(chǎn)品,設置電子無(wú)塵車(chē)間溫濕度。
電子無(wú)塵車(chē)間對靜電、振動(dòng)、噪音、照明、防火、壓差等指標都有要求。有的工藝要求靜電、微振、電磁干擾處理生產(chǎn)車(chē)間。電子無(wú)塵車(chē)間噪音要求不足65dB,照度不小于300Lux。與此同時(shí),電子無(wú)塵車(chē)間的設計要求高于二級耐火等級。電子無(wú)塵車(chē)間潔凈室與室外靜壓差不得低于10Pa,不同空氣潔凈度的凈化區與非潔凈區之間的靜壓差不得小于5Pa。
電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間設計規劃
在平面布局方面,電子無(wú)塵車(chē)間潔凈前區要設置換鞋區、更衣區、風(fēng)淋室等,隔離外界污染。電子無(wú)塵車(chē)間潔凈區人員流動(dòng)方向為:換鞋、一次更衣、風(fēng)淋室吹淋、到達潔凈車(chē)間內部。電子無(wú)塵車(chē)間的物料流動(dòng)方向應設計為:傳遞窗、潔凈車(chē)間內部、傳遞窗、其他工序等。需要提醒的是,空調系統是確保電子無(wú)塵車(chē)間潔凈度的關(guān)鍵,應多方面考慮再進(jìn)行設計布局。
在空氣過(guò)濾方面,電子無(wú)塵車(chē)間要設置三級甚至四級過(guò)濾,末端安裝亞高效過(guò)濾器。在壓力控制方面,要求電子無(wú)塵車(chē)間室內有壓差,最少5Pa以上。根據車(chē)間面積和人員密集程度確定電子無(wú)塵車(chē)間的新風(fēng)量和換氣次數,原則上要求將空氣中的含塵濃度降到最低,減少外界污染物的影響,提高潔凈室的凈化效果。
電子無(wú)塵車(chē)間設計規劃,要兼顧裝修、照明配電。電子無(wú)塵車(chē)間的裝修、天花吊頂、隔墻、門(mén)窗、地面、風(fēng)淋室等要選擇符合清潔要求的材料,地面要做防靜電環(huán)氧地坪。電子無(wú)塵車(chē)間潔凈室的照度,要符合相關(guān)標準,同時(shí)符合甲方的施工要求。
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